소프트디바이스 연구실(이하 TSD Lab)은 한국산업기술평가원의 연구과제를 수주하였습니다. 본 연구 과제는 CMP 공정 중 발생하는 micro-defect의 원인을 분석하고, 실시간으로 공정 내 다양한 물리적/화학적 센서를 적용하여 공정 모니터링이 가능한 인라인 시스템을 개발하는 것을 목표로 하고 있습니다. 이를 통해 CMP 공정에서 발생하는 defect를 사전에 예측하여 공정 효율을 극대화하고자 합니다. 본 연구는 한국표준과학연구원(KRISS)과의 국제 공동연구로 진행되고 있습니다.
